中文名称：六甲基二硅氮烷

中文别名：六甲基二硅亚胺; 1,1,1,3,3,3-六甲基二硅氮烷; 六甲基二硅胺烷; HMDS

英文名称：1,1,1,3,3,3-Hexamethyldisilazane

CAS号：999-97-3

EINECS号：213-668-5

分子式：C6H19NSi2

分子量：161.39

密度：0.765

熔点：-78℃

沸点：125℃

闪点：20℃

水溶性：REACTS

物化性质：性 状 无色透明液体、无毒、略带胺味

产品用途：中间体，是羟基及氨基保护剂；特种有机合成。各种衍生物等合成过程中的甲硅烷基化。硅藻土、白炭黑、钛等粉末的表面处理。半导体工业中光致刻蚀剂的粘结助剂。